真空热处理炉不但可以用于普通工件的淬火、回火、退火和正火，而且可进行化学热处理如真空渗碳(包括真空碳氮共渗)、真空离子渗碳和辉光离子渗氮等，同时可完成金属的烧结、钎焊和真空镀膜等。
　　真空热处理炉的种类有很多种，不同种类的真空炉针对不同的实验，以真空退火炉为例来说，真空退火炉可以用于不锈钢、磁性材料的热处理，不锈钢光亮退火、真空钎焊和真空烧结等。真空烧结炉则可用于氮化硅、碳化硅、陶瓷烧结，模具加工等。